エアコプレナ･プローブ
ACPプローブ
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- 主な用途：基板測定、モジュール測定、オン・ウェーハ測定
- 周波数帯域：DC～110 GHz
- 対応ピッチ：50～1250 μm
- プローブ先端構成：GS/SG、GSG
- ピッチ対周波数帯域の相関（代表値）： 40 GHz ≤ GSG -400 μm, 10 GHz ≤ GS/SG -600 μm
- 針先材質：ベリリウム銅（金パッド用、低パッド･ダメージ）、 タングステン（アルミ･パッド用）選択可
- 針先コンタクト幅：50 μm（標準）、25μm（RCオプション）
- パッド最大段差：25 μm
- 最小パッドサイズ：80 µm x 80 µm （標準、セミオート）、40 μm（幅）× 70 μm (RCオプション、マニュアル）
- コンタクト寿命：＞500,000（金パッド）
- 最大バイアス電流：5 A
- 動作温度範囲：-65℃～200℃
- プローブ先端が見やすくDUTのコンタクト･パッドへの正確な位置決めが可能
