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真空プローブ・ステーション

真空プローブ・ステーション

関連資料
  • 高真空下での測定(1 x 10-5 mbar)
  •  -60～300℃対応チャック
  • 容易で操作性に配慮した基板キャリア
  • 完全な真空下での測定ソリューション
  • マニュアル／セミオート・プローバのラインアップ