探针台
探针台
高性能探测解决方案的完整产品组合
无论您是需要用于探测 150mm 晶圆的成本效益型手动式探针台，或是用于探测 200mm 或 300mm 晶圆的半自动热探针台，Cascade Microtech 均提供了用于对电路板和模块、MEMS、生物结构和光电器件进行晶圆上探测的完整高性能解决方案产品线。所提供的探针台备有附件，比如：热控制系统、特殊电缆、校准软件和业界领先的探针，它们将有助于您对被测器件进行定位、校准和特性描述。Cascade Microtech 在业界率先实现了 1fA 测量，并提供了能够以极低的泄漏和低接触电阻在高达 220GHz 的频率条件下进行探测的系统。
Elite 300 探针台平台
Elite 300 在 300mm 探测中设立了新标准。Elite 300 在 45nm 及以下工艺节点上与 ITRS 发展蓝图保持同步，它克服了由于器件复杂度的增加、焊盘尺寸的缩小以及电压的降低所带来的测量难题。Elite 300 在整个温度范围内提供了前所未有的步进准确度和晶圆平面度。另外，它还提供了当今世界上噪声最低的“安静”环境，并确保了低泄漏、低电容测量。 [查看更多]
