探针台
探针台
高性能探测解决方案的完整产品组合
无论您是需要用于探测 150mm 晶圆的成本效益型手动式探针台，或是用于探测 200mm 或 300mm 晶圆的半自动热探针台，Cascade Microtech 均提供了用于对电路板和模块、MEMS、生物结构和光电器件进行晶圆上探测的完整高性能解决方案产品线。所提供的探针台备有附件，比如：热控制系统、特殊电缆、校准软件和业界领先的探针，它们将有助于您对被测器件进行定位、校准和特性描述。Cascade Microtech 在业界率先实现了 1fA 测量，并提供了能够以极低的泄漏和低接触电阻在高达 220GHz 的频率条件下进行探测的系统。
Elite 300 探针台平台
Elite 300 在 300mm 探测中设立了新标准。Elite 300 在 45nm 及以下工艺节点上与 ITRS 发展蓝图保持同步，它克服了由于器件复杂度的增加、焊盘尺寸的缩小以及电压的降低所带来的测量难题。Elite 300 在整个温度范围内提供了前所未有的步进准确度和晶圆平面度。另外，它还提供了当今世界上噪声最低的“安静”环境，并确保了低泄漏、低电容测量。 [查看更多]
200mm 探针台
全世界几乎所有主要的半导体制造和设计公司都在使用 Cascade Microtech 的业界标准 200mm 晶圆探测系统。这些晶圆探测系统专为能够使用当今最先进的测试仪表的完整测量范围而设计。无论您的应用是器件特性描述、建模、工艺开发、设计调试还是 IC 失效分析，Cascade Microtech 的探测系统均拥有大多数先进半导体工艺和尺寸扩缩器件所需的精确度和通用性。 [查看更多]
