PRF50 RF/DC parametric Pyramid 探针卡是业界现行解决方案的高性能、低成本替代方案。PRF50 专为实现 65nm 和 45nm 参数测试结构的准确监视而设计，与 Agilent 4070/4080 系列和 Keithley S600 系列相兼容。Cascade Microtech 的创新型 Pyramid Plus 制造工艺确保了拥有成本的实质性下降，同时提供了上佳的 RF 信号完整性和较快的 DC 稳定时间，所有这些均利用单个解决方案得以实现。PRF50 探针卡将确保您在诸如最终过程开发、仅 DC 和 RF/DC 参数量产（生产线中和生产线后端）以及晶圆验收测试（WAT）等应用中获得成功。

特点

• 受保护的走线提供了出色的测量精确度和低漏电流（1fA/V），从而实现了较快的稳定时间，并减轻了有害的串扰效应。
• 低至 30μm x 30μm 的小焊盘探测
• 低维护工作量和永久性的探针针尖放置改善了试验台的正常运行时间，从而降低了拥有成本。