インピーダンス基準基板(ISS)、キャリブレーション
ISS/キャリブレーション
Q: ACPプローブのピッチがプローブの箱にかかれている表のリストにない。キャリブレーションのためのCopen等はどのようにしたら良いのか？
A: 表の中の近いピッチの中間の値を使用してください。
Q: ISSに付いているAlignment Markはどのように使うのか？
A: Alignment Markの幅と間隔はLoadやShortのパッドと同じになっています。このマークでプローブのコンタクト開始位置とスケートを調整することで、LoadやShortのパッドに接触することなく正確な位置合わせが可能です。ACPプローブのコンタクト開始の位置は、マークの垂直な辺と切れ込みの中間、スケートする最終位置は切れ込みと内側の辺の中間です。このように調整することでプローブ先端がパッドの上に降りてスケートしパッドからはみ出さない位置で止まります。例えばタングステンのプローブでパッドの外側に降りてからスケートし、パッドを剥がしてしまうような事故もふせぎます。詳細については「RF測定ガイド」をご参照ください。
Q: Dual ISS(126-102, 129-239, 129-240, 129-241)の下部にあるラインの長さは？
A: 短い方から450µm（約3ps）、900µm（約7ps）、1800µm（約14ps）、3500µm（約27ps）、5250µm（40ps）となります。これらは101-190、104-783、114-456でも同じです。物理長と電気長の関係は125umがおよそ1psとなります。実際にはラインとプローブのオーバーラップが75µm程度ありますので、（物理長－75µm）÷125で電気長が求められます。(ピッチ＜250µmの場合）
Q: インピーダンス基準基板と、アブソーバの寸法を教えてください。
A: インピーダンス基準基板の寸法は、厚み 635±25µm、縦 約16mmｘ横 約22mmとなっております。アブソーバは18mmｘ25mmｘ2.5mm（厚み）です。どちらの製品も、カスケード社製のプローブステーションで使用されることを前提に製作されておりますので、正確な寸法公差は提示できない旨、ご了承下さい。
Q: Copen、Lshort、Ltermはプローブの箱の裏蓋に記載されているがThruのDelayはどこを見れば分かるのか？
A: ISS Mapの裏側に記載されています。標準ピッチのISS＝101-190、103-726では「1ps」、ワイド・ピッチのISS＝106-682、106-683では「4ps」となります。RC（114-456）は「2ps」、Infinity WaveGuide（導波管）（138-356、138-357）は「0.5ps」となります。「RF測定ガイド」 11ﾍﾟｰｼﾞ参照
Q: Right Angle ISS＝109-531のThru Dealyはいくつか？
A: 10psとなっています。109-531
Q: General Purpose ISS（005-016）の右上にあるTHRUのDelayはいくつか？
A: 左上から下記のようになっています。（単位ps)
- 19.3 8
- 19.3 2.7 4.7
- 17 10.8
- 24.2 5(直交)
- 24.2 15(直交)
- 41.1
Q: Right Angle ISS（109-531）のTHRUの長さは何psですか？
A: Right AngleのTHRU（キャリブレーション用）の長さは10psとなっています。また、Verification用のものは17.5psと25psです。Download File
Q: Agilent社のPNAを使用しているがLtermはどのように入力したら良いのか？
A: PNAでは直接Ltermを入力できません。入力する方法はDelay Characteristicsの部分で「Z0を500Ωに設定」し、「Delayの部分に"Lterm÷500"で得られた値」を入力します。50Ω伝送路とLoadの間にインピーダンスの高い（500Ω）の伝送路があると考えることでLtermの値をシュミレートすることができます。この方法はLshortの値を入力することができないVNA（Agilent社8720等）の場合も同様に使うことができます。詳細については「RF測定ガイド」をご参照ください。
Q: ACPでキャリブレーションを行った後、OPENを測定したがスミスチャート上で点にならない。キャリブレーションがおかしいのだろうか？
A: キャリブレーションの問題ではありません。スミスチャート上で見えているのはCal Kitで定義したOpen容量です。理想的なStandard（Open、Short、Load、Thru）が存在すれば良いのですが、現実には理想的なものはありません。例えばOpenの場合、端面での電磁界分布が理想的にならないためOpen容量が発生してしまいます。また、ShortやLoadではSignalとGroundの間に導体があるためインダクタンスが生じます。Thruもプローブ同士の直結はできませんので、ある長さが生じてしまいます。これらの理想的なStandardからのズレを記述したものがCal Kitと言うことになります。キャリブレーション後にOpen、Short、Load、Thruを測定すると、Cal Kitで定義した特性が見えるのです。
Q: Dual ISS(126-102, 129-239, 129-240, 129-241)を使用してキャリブレーションを行う場合、Copen、Lshort、Ltermの値はプローブの箱に書いてある値を使うのか？
A: プローブの箱に書いてある値ではありません。ISSマップの２ページ目下部の表にある値を使います。また、OPENはプローブを上げた状態ではなく、ISSにあるOPENパッドを使うことにも注意してください。ご参考 (126-102)
Q: CalKitの入力方法を教えてください。
A: 測定器ごとに詳細を説明している『CalKit入力方法』をご参照ください。
Q: PLTSを使用しています。デュアル用のプローブとISSで４ポートのキャリブレーションを行う場合、クロスのThruが取れないようですが、どのように対処すれば良いでしょうか？
A: PLTSでは、4つのThruで校正ができるようになっています。設定の中で、クロスもしくはボックスを選択するようになっていますので、ボックスを選択します。この設定ですと、ストレートとループバックの4つのThruで校正が完了します。また、差動測定の場合には、校正時のアブソーバの使用をお薦めしています。
Q: GSGSG（100µm）のプローブと、GSG（100µmピッチ）のプローブを使って3ポートのキャリブレーションをすることができますか？
A: デュアル用インピーダンス基準基板を使用して校正することができます。また、3ポート以上の測定の場合、アブソーバの利用をお薦めしています。
Q: プローブのケース蓋の裏面に記載されている『プローブ･スタンダード』の中で、C-openやL-termの値がマイナスの場合がありますが、なぜですか？
A: C-openがマイナスの値になるのは、キャリブレーションの際に空気中でOpenを取ることが理由です。ISS基板の誘電率と、空気中の誘電率が異なるため、マイナスの値となっています。デュアル用ISSのようにパッドにコンタクトしてOpenを取る場合は、C-openは常にプラスになっています。Loadについては図のようにモデル化されており、この中のCの成分はマイナスのLとして考えられます。Lが小さいとCの影響を受け、L-termがマイナスの値となります。
Q: ２ポート測定で、ピッチの異なるプローブを使用したい。同じインピーダンス基準基板にコンタクトできる範囲の違いならキャリブレーションできるのですか？
A: SOLT校正であれば、プローブの型式やピッチが違ったとしても、ポートごとのプローブ設定を行えばキャリブレーションが可能です。
Q: インピーダンス基準基板上のパターンについて、材質と厚みを教えてください。
A: パターン材質は金です。パターン厚みは社外秘となっております。ご了承ください。
Q: インピーダンス基準基板はどのように選べばよいでしょうか？
A: 使用するプローブの構成（GS、GSGなど）、ピッチによって選びます。また、40GHｚを超えるプローブや差動用プローブについては、アブソーバの利用をお薦めしています。
