BlueRay高速プローブ･システム
BlueRay
- MultiDie™テストテクノロジーにより、20パッド/秒（70,000パッド/時間）のテスト処理量を実現
- 精度を損なうことなく、1秒間に8インデックスの動作が可能
- プロダクション・プローバの中で、最も高いZ軸分解能を実現
- ウエハ・ハンドリング・ロボットを搭載することが可能
- ProberBench™ソフトウェアで統合することが容易
- ウェーハの小片等の形状を自動認識するShape Trackerをご提供
- テストプロセスの自動化には、VisionModule™をご提供
- 各種分析機器、光学ソフト
