インフィニティ・プローブ
Infinityプローブ
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主な用途：オン・ウェーハ測定- 周波数帯域：DC-325GHz
- 対応ピッチ：50-250µm
- プローブ先端構成：GS/SG, GSG, GSSG, GSGSG
- ピッチ対周波数帯域の相関(代表値)：110GHz ≤ 125µm(GSG), 60GHz ≤ 250µm(GSG)
- 針先材質：Ni合金(主にアルミ向き、アルミ酸化膜を破り確実な接触)
- 針先コンタクト幅：12µm(角型バンプ)
- パッド最大段差：0.5µm
- 最小パッドサイズ：50µm x 50µm (セミオート), 25µm (幅)× 35µm (滑り方向、マニュアル)
- コンタクト寿命：＞200,000
- 最大バイアス電流：500mA, 2A (HCオプション)
- 動作温度範囲：-65℃-125℃
- 針先接触抵抗：≤0.05Ω (アルミ)
